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白光干涉仪大视场光学设计难度高于单纯精度提升，属行业共性难题

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）小视场下实现亚纳米级垂直测量精度，现有干涉光路与算法已经较为成熟。顺利获得优化信号解调、降...

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2026

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USI白光扫描：透明金属叠层界面模糊与微纳细节丢失成因及优化...

一、USI算法固有技术缺陷USI通用扫描干涉算法（Universal Scanning Interferometry, USI）容错性高、通用性广，但存在固有技术...

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2026

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白光干涉仪微纳测量不应唯精度论，大视场全域表征更具实际意义

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）微纳形貌检测领域中，设备选型常片面聚焦小视场下的极限垂直精度指标。小视场模式虽可取得亚...

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2026

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USI白光扫描多层微纳工件形貌检测数据异常机理分析

USI算法固有技术缺陷USI自适应扫描干涉算法（USI Adaptive Scanning Interference Algorithm）通用性强，但存在固有技术...

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